What's new

2018年8月15日

【最先端半導体製造装置開発のための10nmクラス超粒子計測技術開発と調査の件】
 TIA かけはし プロジェクト 「最先端半導体製造装置開発のための10nmクラス超粒子計測技術開発と調査」が始まりました。東京エレクトロン、産総研、筑波大学の3者が共同して検討を進めます。かけはしテーマ

2018年8月15日

【日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業の件】
 日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業がはじまりました。伊藤雅英先生が、研究代表に着任されました。
「日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業」プレスリリース
「日立ハイテクアドバンストSEMテクノロジ特別共同研究事業」 研究室ホームページ

2015年8月24日

数理物質科学研究科のサマースクールが行われました。 本研究室での内容詳細はこちら

2009年4月21日

ホームページを2009年度版に更新しました。