白色干渉計測

十分拡がったスペクトル分布を持つ光源による干渉縞は、位相差が０の位置を中心に干渉縞が見える。 十分拡がったスペクトル分布を持つ光源を白色光源と呼ぶことにすると、白色光源による干渉縞は、 物体の参照面光路長差が０の場所のみ、白色の縞が観察される。参照鏡の位置を光軸に沿って移動させ、 この白色縞ができる位置を求めることにより、物体の形状が測定できる。この手法を白色干渉法と呼ぶ。 このような白色干渉法は液晶ディスプレイの表面計測や、半導体のウェハーの厚さ測定など、さまざまな 工業製品の３次元形状検査に広く利用されはじめている。 我々のグループでは、白色干渉計の２つの限界に挑戦しています。１つは、今まで測定できなかったような 低反射率の物体を測定することです。もう１つは、視野を大きくすることです。 メンバーは、雷氏、劉氏、菅原です。雷氏と劉氏は計測機器メーカーの研究員であり、白色干渉計を実際の製品として 製作しています。そのため、研究分野は光学系のみならず、解析プログラムやハードウエアにまで及んでいます。 菅原は警察の科学捜査部門の研究者です。そのため、白色干渉計の科学捜査への応用方法についても研究しています。